mems器件研究室设备决标公示[招标编号:2007016] 　　mems器件研究室设备设备采购项目,按照我校招投标管理办法等有关规定，经校招标工作会议综合评议，同意以下公司为该项目中标候选人。公示期间，欢迎大家举报。 第一、二项：高密度等离子体刻蚀机（ICP）和等离子增强化学气相淀积设备（PECVD）由中国科学院微电子研究所中标。 第三项划片机由沈阳仪表科学研究院中标。 公示时间：2007年10月11日——10月15日 举报电话：86836042、86836044、86875640